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来源 :金属功能材料 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
超磁致伸缩材料可用于制作电 -机械转换元件 ,能将机械能变换为电能。有效地利用这一特征即可构成高灵敏度传感器。近年来传感器和致动器日益向小型化发展 ,使用块体材料在形
【作 者】
:
启明
【出 处】
:
金属功能材料
【发表日期】
:
2002年05期
【关键词】
:
超磁致伸缩
力传感器
薄膜性能
合金薄膜
致动器
成膜条件
块体材料
靶材
二元系
成膜过程
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