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通过分析MEMS电容开关的工作原理，设计出一种适合分布式射频MEMS移相器电路的新型电容开关．采用Intellisuite^TM软件优化电容开关的驱动电压、响应时间、释放时间和机械振动模式．结果表明，开关驱动电压为2．5V、响应时间小于30μs，释放时间大于60μs和所有振动模式固有频率都大于15KHz．与普通开关结构比较，该新型电容开关结构具有优越射频机电性能和响应时间，同时也对电容开关的制备工艺进行分析．