【摘 要】
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北京七星华创电子股份有限公司的CS系列气体质量流量控制器/流量计荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。1创新性和先进性CS系列气体质量流量控制器/流量计是一种可以对多种中小流量气体质量流量的精确测量和控
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