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提出了一种解决SU-8去胶难题的方法．该方法首先将SU-8微结构用PDMS进行复制，然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸．电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模具．通过该方法制备得到了深宽比达到10的金属模具，而且模具表面光滑，侧壁垂直．
一种利用PDMS工艺解决SU-8去胶问题的方法
【摘 要】
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提出了一种解决SU-8去胶难题的方法．该方法首先将SU-8微结构用PDMS进行复制，然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸．电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模具．通过
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年5期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:200211404150)~~
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