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在上海光源硬X微聚焦及应用光束线站(BL15U1)上实现了一种基于实时数字图像处理的同步辐射微探针自动化扫描方法。该方法采用高灵敏度、高帧率的数字电荷耦合器件(Charge Coupled Device, CCD)显微镜实时成像，通过对显微镜系统和X光微米探针系统的坐标转换，使用户在图像空间直接点击到感兴趣的位置后，样品台就自动将该点移入光路。在设定好扫描时间、扫描步长等必要的实验参数后，只需要用鼠标在图像空间圈出需要扫描的区域，系统将自动生成 XPS 运动控制器的运动配置文件，并驱动电机运动，对该区域进行微束荧光扫描成像。结果表明，该方法不仅可以提高同步辐射机时的使用效率，而且可以满足微区研究人员快捷、方便的自动化操作需求。