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双光子微加工技术与应用研究.
双光子微加工技术与应用研究.
来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangtongfeng
【摘 要】
:
双光子微加工技术是利用材料对飞秒激光束在焦点局部区域发生的双光子吸收现象,并通过逐点扫描来实现微器件三维成型的加工技术.介绍了双光子微加工技术的原理、特点和过程,
【作 者】
:
潘传鹏
周明
刘立鹏
蔡兰
刘会霞
任乃飞
高传玉
王亚伟
【机 构】
:
江苏大学材料学院超快和纳尺度科学与工程技术研究中心
【出 处】
:
纳米技术与精密工程
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
双光子吸收
微加工技术
局部区域
飞秒激光
光束
焦点
微器件
扫描
原理
三维
two-photon absorptionmicro- fabrication
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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双光子微加工技术是利用材料对飞秒激光束在焦点局部区域发生的双光子吸收现象,并通过逐点扫描来实现微器件三维成型的加工技术.介绍了双光子微加工技术的原理、特点和过程,描述了该加工技术的实验系统,并给出了部分利用该系统获得的初步实验结果,最后简单介绍了双光子微加工技术的一些实际应用.
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