微器件相关论文
电化学生物传感器具有灵敏度高、分析速度快、易于微型化等特点,在生物分子检测方面有着广阔的应用前景。纳米金修饰的单壁碳纳米......
随着MEMS技术的发展,聚合物材料被广泛的运用于微型器件制造。聚合物材料具有生物相容性的优点,而且聚合物种类繁多,价格低廉。聚......
57nm深紫外激光因其波长短且具有较高的光子能量,被视为较理想的微刻蚀工具之一。介绍了157nm深紫外激光的刻蚀机理,并利用先进的1......
介孔材料具有高度有序的纳米孔道、超高的表面积和丰富迷人的介观结构,在多相催化、吸附分离、传感器、光电磁微器件、纳米器件等......
热设计对于微电子、光电子器件的性能而言，是个至关重要的问题。对构成以上微器件的薄膜的能量输运机理以及热物性进行研究是非常必......
针对800 nm的激发光源设计合成了3种具有D-π-D分子构型的新型二苯乙烯衍生物(分别命名为BPSBP,BESBP和BCSBP)作为双光子引发剂.利......
介绍了准分子激光微加工的机理，设计并研制了步进控制的二维微动扫描台，建立了一种基于准分子激光的微加工装置，通过计算机控制扫描路......
本文以微器件设计为对象，对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究，提出了采用基......
提出了将设计目录与基于实例的推理技术相结合的策略,解决了微器件的原理方案设计问题.建立了基于网络的微器件设计目录和实例库,......
随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微组装技术的需求日益迫切.介绍了微器件组装技术的研究和发展概况,包括顺行和并行微组装技术,......
讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、......
针对微器件产品优化评价规则缺乏的现状,采用现代设计方法对微器件优化决策规则进行了研究.有限元方法被用于对微器件进行动态分析......
针对表面硅微加工,运用层模型间几何元素运算获得粗掩膜的基本数据.采用工艺约束修演得到精掩膜,解决了多层刻蚀与可加工性问题,并......
始于20世纪60年代的微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是21世纪的核心技术之......
针对微器件课程教学的现状,分析其中的影响因素,结合实际,为教学发展与专业建设提出相应的新策略与新措施。......
微器件的装配并不是一个新兴的领域,但随着微加工技术、显微技术和集成电路技术的发展,微装配概念发生了根本性的变化,产品的范围......
在总结了国内外近十多年来微弯曲成形研究现状基础上。提出了基于激光辅助加热的微器件弯曲成形方法，将激光直接加载于难成形的微小......
以硅基加工为研究对象,提出了一种基于特征的多层次体面相结合的微器件信息描述模型与相应的输入方法.该方法将微器件的三维几何结......
设计并合成了一种带咔唑基的二苯乙烯类双光子引发剂4，4’-双（9-咔唑基-反式-苯乙烯基）联苯（BCSBP），对其单光子和双光子光谱性质进行了研......
随着微型机械的发展,微器件的尺寸不断缩小,由尺寸效应引起的表面接触、粘合、摩擦及磨损等问题比传统机械更加突出,同时微机电系......
双光子微加工技术是利用材料对飞秒激光束在焦点局部区域发生的双光子吸收现象,并通过逐点扫描来实现微器件三维成型的加工技术.介......
介绍了一种简单可行的面向微器件材料的单轴机械测试技术与装置.通过对直径为0.22 mm,长度10mm的铜丝在700℃温度下退火,室温下冷......
针对微器件设计方法中的功能原理方案设计问题,提出了通过设计目录寻找子功能原理解,并通过原理解的组合形成设计方案的方法.基于......
归纳和总结了微系统热学加工技术方面的最新研究进展,着重讨论从材料的热学性质出发,实现微/纳电子机械系统元件制造的若干新颖、......
微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加工中具有独特的工艺优势.本文研究分析了利用微细电火......
垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于......
试验研究和分析了电解液施加超声搅拌作用时不同声强对试样形貌质量的影响，优选了工艺参数，在此基础上，进行了超声微结构电铸试验，并制......
具有极高精度和微细内部结构的微器件,如微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,简称MEMS)、集成电路(Integrated Circuits,......
结构的安全性一直是工程中普遍关心的重要问题,结构强度学逐渐发展到疲劳断裂统一理论,结构安全保障手段已向多方法、微小化、网络......
响应性水凝胶是一种具有三维网络的亲水聚合物,在p H、温度、光等外界环境刺激下能够发生独特的响应性溶胀行为,由于其具有良好的......
介绍了微器件概念设计中的功能设计方法及建模技术,在基于功能-效应-原理解的微器件概念设计模型框架下,对微器件的功能建模从功能......
本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简......
尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面 ,在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上 ,提出从纯尺寸因素和非尺寸......
微装配的对象主要是微米级或亚毫米级尺寸的微器件,这些微器件的轻、小、薄、软的特征对微夹持器的夹持方式和夹持力的控制提出了......
抗磁悬浮是利用物质对磁场的排斥力实现磁悬浮,作为磁悬浮技术的一个分支,是一种真正意义上的无接触悬浮。按照不同的应用领域,从......
期刊
近年来,利用化学镀法在高聚物表面金属化技术,因为其操作的简单性被广泛应用。随着微流控分析系统和微电子领域的快速发展,通过高......
飞秒激光微加工由于加工精度高、质量好以及可实现三维加工等优点,被广泛应用于对各种材料的加工处理。由于脉冲时间极短(<1ps),在......
静电力作为微机电系统(MEMS)中一种重要的驱动力,广泛应用于微镜、微泵、微马达、微陀螺、微钳、微谐振器、射频开关等微器件中。......
针对材料和结构均特殊的透明材料微小器件的键合质量检测,提出了可见光透射机器视觉检测法。分析了检测系统硬件中主要部件的性能......
随着MEMS技术的飞速发展,具有高灵敏度、高稳定性、可靠性好、在微小空间具有检测能力的微传感器及相关微结构体已成为当今微电子......
细胞培养是进行细胞研究的基础,为了在细胞体外培养时提供一种近似于体内的微环境,设计了一种可供细胞三维动态培养的微器件。首先......
对于快速发展的微器件，微沟槽的形貌决定了其毛细/沸腾性能。为了改善当前微沟槽形状单一、加工成本高、毛细/沸腾性能不足的现状，本......
当前,随着医学技术的飞速发展,满足各类以治疗和诊断为目的的可植入人体式医用装置的种类日益增多。如何为其提供长期、稳定、高效......
多腔体的微型可降解高分子聚合物PLGA药物缓释系统是一种新型植入式给药微器件，其载体结构是结合药物释放的要求和高分子聚合物生物......
