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制备了一种低阻硅基厚膜聚酰亚胺上的高性能共面波导传输线,并从理论上分析了传输线损耗的成因及其计算方法.聚酰亚胺膜厚11.5 μm的低阻硅(0.5 Ω·cm)上的共面波导传输线在10 GHz下插入损耗为3.5 dB/cm.然而,相同衬底上,无聚酰亚胺膜的共面波导传输线在10 GHz下插入损耗为50 dB/cm,损耗特性明显比前者差.测试结果表明聚酰亚胺层的介入能有效地改善传输线的损耗特性,且损耗随着聚酰亚胺膜厚的增加而降低.