【摘 要】
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根据P型VDMOS的特点,对实际的P型VDMOS工艺流程的特殊之处与常规MOS工艺和N型VDMOS工艺进行了对比,提出了较为合理的工艺流程。并利用工艺模拟软件对工艺流程进行了模拟,通过
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
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根据P型VDMOS的特点,对实际的P型VDMOS工艺流程的特殊之处与常规MOS工艺和N型VDMOS工艺进行了对比,提出了较为合理的工艺流程。并利用工艺模拟软件对工艺流程进行了模拟,通过将已知工艺参数与工艺模拟软件结合起来使用,将模拟结果直接导入器件模拟软件,对击穿电压及阈值电压,进行了模拟计算,指出了P型VDMOS工艺流程的特点。
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