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针对激光烧蚀靶材产生的热效应进行综述,分别阐述了对于半导体材料、 金属材料和复合材料,激光烧蚀靶材产生热效应的研究进展.最后,指出激光烧蚀材料热效应的研究所面临的问题,以及今后的研究方向.
激光烧蚀材料热效应研究进展
【摘 要】
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针对激光烧蚀靶材产生的热效应进行综述,分别阐述了对于半导体材料、 金属材料和复合材料,激光烧蚀靶材产生热效应的研究进展.最后,指出激光烧蚀材料热效应的研究所面临的问
【机 构】
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天津工业大学机械工程学院 天津 300387
【出 处】
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福建质量管理
【发表日期】
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2018年19期
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