【摘 要】
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底部保温结构决定了坩埚底部径向温差的大小,底部径向温差的大小决定了晶体收尾生长的形态,合适的底部径向温差可以保证良好的晶体收尾生长,抑制界面翻转。利用CFD软件模拟底
【机 构】
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底部保温结构决定了坩埚底部径向温差的大小,底部径向温差的大小决定了晶体收尾生长的形态,合适的底部径向温差可以保证良好的晶体收尾生长,抑制界面翻转。利用CFD软件模拟底部保温结构对长晶功率、坩埚底部径向温差及界面凸出度的影响。结果表明,利用分体式底部保温结构,在扩肩及收尾阶段均可以获得最小的长晶功率、最大的底部径向温差、最大的晶体界面凸出度。依据优化的结果,采用分体式底部保温结构进行长晶实验,生长出的晶体底部表面呈现年轮状,晶体品质良好。
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