【摘 要】
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本文通过用双峰的衬底电流效应分析了热电子限制SOA和电子SOA在40V LDMOS栅氧层的形成机理,并且通过新流程设计改进了LD-MOS的SOA.最终,得到了扩展到40/50V LDMOSn漂移区大于
【机 构】
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203
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本文通过用双峰的衬底电流效应分析了热电子限制SOA和电子SOA在40V LDMOS栅氧层的形成机理,并且通过新流程设计改进了LD-MOS的SOA.最终,得到了扩展到40/50V LDMOSn漂移区大于2um的结构设计方法.通过分析衬底电流(Ib)和相应的退化机理,我们为热电子SOA提供了一个物理试验模型.通过分析,清楚理解了热电子SOA 的意义和工作范围,也反应出热电子是器件退化现象的一个重要原因之一.
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