KLA推出全新突破性的电子束缺陷检测系统

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kami121

【摘要】

：

近日,KLA公司(纳斯达克股票代码:KLAC)宣布推出革命性的eSL10TM电子束图案化晶圆缺陷检查系统.该系统具有独特的检测能力,能够检测出常规光学或其他电子束检测平台无法捕获的

【出处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

2020年4期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

近日,KLA公司(纳斯达克股票代码:KLAC)宣布推出革命性的eSL10TM电子束图案化晶圆缺陷检查系统.该系统具有独特的检测能力,能够检测出常规光学或其他电子束检测平台无法捕获的缺陷,从而加速了高性能逻辑和存储芯片的上市时间[包括那些依赖于极端紫外线(EUV)光刻技术的芯片].

其他文献

未来反水雷作战的三大使命为基地防御、两栖登陆、远海机动.从使命任务出发,针对反水雷体系建设,探索性提出加强反水雷力量体系、反水雷装备体系和反水雷综合保障体系建设,对

期刊

反水雷体系建制

在5G、物联网、AI等高端应用的持续催化下,设备作为半导体元器件制造的基础,面临的关键技术挑战越来越多.rnALD (原子层沉积)以前是一个不起眼的工艺,随着集成电路技术不断演

期刊

新型Ultra C VI系统充分利用盛美已被验证的多腔体技术,为存储器制造商提高产能并降低成本.rnUltra C VIrn作为先进半导体器件的晶圆清洗技术领域中领先的设备供应商,盛美半

期刊

水雷战是最常见的海上作战样式,对争取海上战争的主动权有着重要作用.美国十分注重反水雷作战策略研究及其装备发展.未来,美军将逐渐淡化专业反水雷和建制反水雷装备的区别,

期刊

水雷战反水雷濒海战斗舰

期刊

准Z源逆变器是一种在光伏发电系统中有应用前景的新型逆变器。本文用Matlab建立系统的仿真模型，把现有建筑的一套屋顶光伏发电系统改造成基于准Z源逆变器的光伏发电系统，该系统

期刊

光伏发电系统准Z源逆变器仿真模型

期刊

电信运营企业的竞争从以往的“一家独大”向“全业务竞争”格局演化的过程中，同质化、趋同化的营销和服务导致所有的电信运营商陷入“价格战”的泥潭。由于电信运营商提供的传

学位

电信企业视频监控项目投资效益分析

期刊

期刊