【摘 要】
：
由于光刻投影物镜小比率模型光学系统的光学元件数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法已不适用.本文利用灵敏度矩阵,通过找出偏心补偿量和倾斜补偿量的内在
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目（No.40974110）
论文部分内容阅读
由于光刻投影物镜小比率模型光学系统的光学元件数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法已不适用.本文利用灵敏度矩阵,通过找出偏心补偿量和倾斜补偿量的内在联系来缩小补偿量的选择范围.然后根据失调量敏感度的分析,提出了选择系统补偿量的方法.利用这个方法,选择4个补偿量便使补偿后的光学系统成像质量满足设计指标要求,减少了光学系统的装调难度.最后,编写宏模块完成大量仿真计算,验证了敏感度分析的正确性.光学系统初装完成后,对系统进行了预装调.实验结果表明,补偿后系统波像差（RMS）由50.9 nm提高到2
其他文献
1979年出版了全日制十年制学校初中课本(试用本)俄语第三册,在第8课的课文、语法项目和练习4里,句子“Как пройи к памятникуПушкину?”共出现四次
<正> 《中国俄语教学》自一九八二年创刊至今,已经历了整整五个年头。五年来,这本学术性刊物在国家教委主管部门的指导下,以及本刊全体编委和中国俄语教学研究会全体会员、全
根据我院(原南京解放军外语学院)培养目标,在教学大纲中规定学员在学完基础阶段(二年)以后,第二个圆周语法在三年级开设。教学时数为80学时。我们根据实际情况,从培养目标出
介绍了一种用玻璃毛细管成像法精确测量微量液体折射率的方法及测量装置。该方法以充入透明液体的毛细管构成柱透镜,基于共轴球面光学系统的成像原理,对光学成像系统的放大率
确立了在Besov-Morrey空间框架下的非黏性布西涅斯克方程的破裂准则,此处一类Besov-type函数空间建立在Morrey空间而不是普通的Lp空间.
<正> 研究生教育是我国高等教育的重要组成部分,是教育结构的最高层次,担负着培养四化建设高级人才的任务。 十年来各院校为国家培养了一批为数可观的人才。但是,就整体来说
针对手工提取网络上传数据过程烦琐、工作量大的问题,提出一种融合双重BP神经网络组合模型（A combination model of dual BP neural network,CMDBPNN）的Python解析计算机网络上
上海师大一附中张思中老师创立了集中识字,讲授语法,分群体复式教学方法,是有普遍意义的。他的教学指导思想就是在中学有效的时间内,强化教学,大面积地提高教学质量。其教学
鄂尔多斯盆地马岭地区为三角洲前缘沉积,长81油层属于低渗透、特低渗透、超低渗透致密砂岩油藏.综合铸体薄片、扫描电镜、物性等试验资料,深化认识马岭地区长81储层特征及物
在信息化时代的背景下,为了增强旅游行业竞争力,设计基于浏览器/服务器(Browser/Server)模式的旅游产品网络营销平台.为了进一步优化旅游产品的网络营销,该平台使用了推荐系