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【摘 要】
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低于１０－８帕量级的清洁真空，如果需要（如表面科学研究）并不难以获得。在大部分工业系统中，１０－５帕量级的有限压力足以满足。除在特殊的情况下，真空测量的重复性经常比绝对精度更为重要。此外
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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真空
【发表日期】
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1988年06期
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