不同退火温度对钡铁氧体薄膜磁性的影响

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangjiejin

【摘要】

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M型钡铁氧体(BaFe12O19,BaM)是一种单轴磁晶各向异性的六角晶系硬磁材料,由于其具有很强的各向异性场,因此在自偏置微波器件领域具有广阔的应用前景。本文采用常温射频磁控溅

【作者】

：

张纬统代波任勇倪经

【机构】

：

西南科技大学材料科学与工程学院,西南应用磁学研究所

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

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2021年5期

【关键词】

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钡铁氧体薄膜射频磁控溅射退火磁性

【基金项目】

：

西南科技大学环境友好能源材料国家重点实验室资助项目(20fksy23)。

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M型钡铁氧体(BaFe₁₂O₁₉,BaM)是一种单轴磁晶各向异性的六角晶系硬磁材料,由于其具有很强的各向异性场,因此在自偏置微波器件领域具有广阔的应用前景。本文采用常温射频磁控溅射法在(000 l)取向的蓝宝石衬底上沉积了厚度约为130 nm的BaFe₁₂O₁₉非晶薄膜,然后分别在850℃、900℃、950℃、1000℃对其空气退火处理3 h,得到BaM晶体薄膜样品。采用X射线衍射仪对薄膜样品进行物相及晶体生长取向鉴别

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