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基于非晶硅太阳电池的工作原理，对其减反射膜进行研究．根据四分之一波长作用原理得到反射率最小时的厚度优化参数．单层减反射膜选用ITO（m=2．0，d=75nm），加权平均反射率为5．91％．双层膜选用MgF2／ITO，厚度分别为111nm和75nm，加权平均反射率为3．72％．此外，还作出反射率随波长的变化曲线，并通过计算仿真结果进行比较说明如何选材：对于单层减反射膜，采用折射率小的材料能取得更好的效果，而对于双层减反射膜，采用折射率上低下高形式，能取得更好的效果．