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微执行器是微机电系统的核心部件,应用范围广泛,具有重要的研究价值。根据微执行器的驱动方式的不同,对微执行器的应用进行了介绍。
微执行器的应用研究
【摘 要】
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微执行器是微机电系统的核心部件,应用范围广泛,具有重要的研究价值。根据微执行器的驱动方式的不同,对微执行器的应用进行了介绍。
【机 构】
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青海大学机械系
【出 处】
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机械制造与自动化
【发表日期】
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2010年2期
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