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基于力学振动原理,导出敏感梁类谐振振动的微分方程,给出了振梁型加速度计的设计原理.指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关;为避免输出非线性频率信号,频率的相对变化率和激励振动的振幅都不宜太大.
基于谐振原理的硅微机械加速度计
【摘 要】
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基于力学振动原理,导出敏感梁类谐振振动的微分方程,给出了振梁型加速度计的设计原理.指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关;为避免输出非线性频率信号,频率
【机 构】
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北京大学微电子学研究所,天津大学精仪学院,清华大学精仪系
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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