【摘 要】
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最近,日本ON-WORLD技研公司运用等离子体蒸镀法,开发了氮化钛铝均匀覆膜的蒸镀工艺。利用该工艺可获得平滑且耐热性、耐久性优异的,厚度为1μm的覆膜。公司已从2006年11月起
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最近,日本ON-WORLD技研公司运用等离子体蒸镀法,开发了氮化钛铝均匀覆膜的蒸镀工艺。利用该工艺可获得平滑且耐热性、耐久性优异的,厚度为1μm的覆膜。公司已从2006年11月起接受加工订货,即在极细钻头或精密金属模具上蒸镀强化覆膜。此次开发的工艺应用了空心阴极法,即在真空炉
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