【摘 要】
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黑硅材料具有良好的光学吸收特性,广泛用于太阳能电池和红外探测器的制备中。基于黑硅材料制备的探测器具有光谱响应度大、响应范围宽、响应曲线较为平直等优点,介绍了黑硅红
【机 构】
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中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室,
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黑硅材料具有良好的光学吸收特性,广泛用于太阳能电池和红外探测器的制备中。基于黑硅材料制备的探测器具有光谱响应度大、响应范围宽、响应曲线较为平直等优点,介绍了黑硅红外探测器国内外的研究进展,其中涉及的黑硅制备方法包括飞秒激光辐照、皮秒激光辐照、湿法腐蚀、离子注入结合准分子纳秒激光辐照。讨论了目前黑硅红外探测器制备中存在的问题,包括黑硅在退火过程中吸收率下降严重以及黑硅表面电极制备难、载流子横向输运能力差等问题。对存在的问题进行了分析,总结了当前的解决方法,展望了黑硅红外探测器的发展趋势和应用前景。
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