【摘 要】
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近几十年来,世界上许多国家对压电超声马达进行了大量的研究。我国自80年代以来也进行了一些压电超声马达的理论探索和研制的实践工作。本文根据近十几年来国内的有关文献资料,综
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近几十年来,世界上许多国家对压电超声马达进行了大量的研究。我国自80年代以来也进行了一些压电超声马达的理论探索和研制的实践工作。本文根据近十几年来国内的有关文献资料,综述了压电超声马达在国内的发展情况,列举了行波型压电超声马达、驻波型压电超声马达、微动压电马达等典型例子,并指出了今后的研究方向。
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