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为寻找一条工序简单、耗价低、易于工业放大路线，实现多晶硅副产物四氯化硅（SiCl4）废物资源化制备正硅酸乙酯（TEOS），本文以多晶硅副产物SiCl4和无水乙醇为原料制备TEOS，在半连续化生产工艺的基础上研究了SiCl4与乙醇的摩尔比、反应温度、反应时间等因素对TEOS产率及纯度的影响。正交实验优化结果表明：15℃下，以恒定速率滴加14.21 g无水乙醇于15 g四氯化硅中，反应35 min，补加8.12 g无水乙醇；55℃下恒温40 min，经减压蒸馏，除去低沸点的乙醇和氯化氢，TEOS产率达到86.