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【摘 要】
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为提高半导体制造系统的整体性能,提出了一种考虑多因素的悬挂式小车(overhead hoist transporter,OHT)调度方法.从工作站、晶圆批、搬运系统三方面分析了搬运距离、晶圆批优
【机 构】
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同济大学机械与能源工程学院
【出 处】
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北京理工大学学报
【发表日期】
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2014年06期
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