【摘 要】
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利用真空蒸发方法在液相基底(硅油)上成功制备出具有自由支撑边界和界面条件的金属铝薄膜系统,研究了薄膜的开裂和折叠行为。结果表明:沉积过程中,硅油基底的受热膨胀使铝薄
【机 构】
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中国计量学院物理系,浙江大学物理系,
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利用真空蒸发方法在液相基底(硅油)上成功制备出具有自由支撑边界和界面条件的金属铝薄膜系统,研究了薄膜的开裂和折叠行为。结果表明:沉积过程中,硅油基底的受热膨胀使铝薄膜处于较大张应力状态,伴随着张应力的释放,薄膜中出现开裂形貌。沉积完成之后,系统的逐渐冷却促使硅油基底收缩,并使得铝薄膜处于较大压应力状态,伴随着压应力的释放,薄膜中出现特征的折叠形貌。基于液相基底上金属薄膜的特殊力学行为,对此类开裂和折叠形貌进行了深入阐述。
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