【摘 要】
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本文通过采用丝网印刷法制备了以)α－Al2O3基片为衬底的纳米和微米级TiO2厚膜，气敏性测试表明，纳米TiO2膜的电阻略高于微米TiO2膜，在实验温度范围内，电阻随氧分压的变化率明显高于
【机 构】
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上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室!上海,200050,上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室!上海,200050,上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室!上海
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本文通过采用丝网印刷法制备了以)α－Al2O3基片为衬底的纳米和微米级TiO2厚膜，气敏性测试表明，纳米TiO2膜的电阻略高于微米TiO2膜，在实验温度范围内，电阻随氧分压的变化率明显高于微米膜，同时还以XRD，SEM对膜材料的结构和形貌进行了表征．
In this paper, nano-and micro-scale TiO2 thick films with α-Al2O3 substrate as substrates were prepared by screen printing method. The gas sensitivity tests showed that the electrical resistance of the nano-TiO2 film is slightly higher than that of the TiO2 film. Under the experimental temperature range The change rate of resistance with oxygen partial pressure was obviously higher than that of the micron film. The structure and morphology of the film material were also characterized by XRD and SEM.
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