【摘 要】
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分析了国内外超精密机床及其测量系统的发展，并在我国首次提出将双路双频激光测量系统用于超精密机床的在线测量，经过稳频、信频和空气参数的补偿使测量系统达到０．０１μｍ的高分辨率。
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分析了国内外超精密机床及其测量系统的发展，并在我国首次提出将双路双频激光测量系统用于超精密机床的在线测量，经过稳频、信频和空气参数的补偿使测量系统达到０．０１μｍ的高分辨率。该系统数据采集快、结构紧凑、通过性好，为起精密机床的研制奠定了基础。
The development of ultra-precision machine tool and its measuring system both at home and abroad are analyzed. It is the first time in China that the dual-channel dual-frequency laser measuring system is used for on-line measurement of ultra-precision machine tools. After the frequency stabilization, High resolution of 0.01 μm is achieved. The system has fast data acquisition, compact structure, good passability and laid the foundation for the development of precision machine tool.
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