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微机械系统(MEMS)工艺使新的概念迅速转换为实际样机和早期产品.这种转换的速度基于集成电路、产业制造基础的拉动能力:工厂、设备、仪表、工艺、材料和从业人员.
控制MEMS封装成本的圆片规模封装
【摘 要】
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微机械系统(MEMS)工艺使新的概念迅速转换为实际样机和早期产品.这种转换的速度基于集成电路、产业制造基础的拉动能力:工厂、设备、仪表、工艺、材料和从业人员.
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2003年6期
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