微机械系统相关论文
在现代电子线路中,磁性元器件如电感以及由它组成的DC-DC变换器、滤波器和振荡器等是不可缺少的元器件。由于便携式电子产品的体积......
与光刻或电子束刻蚀相比，双光子光聚合作用建立在其三维能力的基础上，特征尺寸接近衍射极限，在光子器件和微机械方面有用。本文指出，利......
设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器,其中心频率为400MHz,叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅......
模内微组装成型技术是有望成为规模化高效低成本产业化聚合物微小机械系统制造的有力技术。高分子聚合物材料因质量轻、耐腐蚀、绝......
航天、汽车、电子和家电等产品均具有集成微机械系统来实现传感器、执行器、信号处理和微能源等功能。微机械系统集成包含多种梁板......
随着微／纳米技术的发展，微机械(MEMS)逐渐受到高度重视。微机械由于具有能在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航......
微机械技术是生物芯片微制作中的关键技术.近年来,微机械技术有了很大发展,应用领域也逐渐扩大,但是它的设计仍处于手工阶段,没有......
微机械系统（MEMS）以其微型化、集成化等优点，在汽车工业、生物医学、信息、军事和航天工程等领域具有极为广泛的应用和广阔的前景。然......
该论文主要研究的是微机械器件的计算机辅助设计方法.该论文在详细研究微机械技术自身特点的基础上,提出了一个完整的微机械CAD软......
微机械加速度计由微机械加速度传感器与外围检测电路两部分组成。微机械加速度传感器是微机械加速度计最核心的部分,对加速度计的......
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电......
调制器是光纤系统的重要器件。硅基微机械光调制技术使用常规硅平面工艺方法 ,制作较为简单 ,成本较低。同时 ,又具有高数据速率 (......
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材......
基于应变梯度弹性理论,研究了静电激励MEMS微结构吸合电压的尺寸效应.利用最小势能原理分别推导出含尺寸效应的一维梁模型和二维板......
本文介绍了微型惯性测量组合系统的构成,姿态的解算算法和参数识别的卡尔曼滤波方程。提出了用四元素四阶龙格-库塔法作为捷联惯导......
微定位器是微机械系统精密加工、纳米技术的重要组成部分,柔性铰链结构则是微定位器的核心部件.利用有限元分析软件ANSYS,对两种常......
微谐振式压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出,在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制,......
提出了一种用于300×400红外焦平面阵列读出电路的等效像元电路结构。该电路与氧化钒（VOx薄膜）制成的微机械系统（MEMS）的电特性等......
Research results on the viscous flow deformation behavior of bulk amorphous alloy in different systems are reviewed. The......
介绍了旋转载体用硅微机械陀螺的敏感原理，计算了硅振动单元振动摆角和敏感电容的关系。介绍了旋转载体用硅微机械陀螺敏感元件的结......
从理论模型出发分析了实现垂直腔光电器件可调谐的方法,讨论了静电激励的1/3原则,及其对调谐性能的影响,从国内外几个有代表性的研......
用去离子水及有机液体在内径约为25μm的石英圆管内进行了流量特性实验.液体分子量范围为18～160,动力黏性系数的范围为0.5～1 mPa.s.......
在不增加薄膜层数的前提下设计出一种新型的薄膜微机械锚结构.新型微机械锚与传统微机械锚相比具有更大的厚度和合理的形状,其刚度......
本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制了一种快速低功耗MEMS微型双稳态继电器结构,......
介绍了一种基于双轴微机电系统（MEMS）加速度计与单轴陀螺仪的机器人关节角度测量系统。相比于传统的霍尔磁传感测量以及光学角度测量......
基于微机械系统(MEMS)的噪声估算,提出了一种可用于微机械系统的多芯片组件(MCM)封装技术,并对封装完成后的信号噪声、输入端相对......
针对微机械系统(MEMS)加速度计封装过程中引入的残余应力进行测量和分析。采用简支梁模型对有无残余应力下的传感器敏感结构进行挠......
体积小、频响宽、造价低的微机械三维加速度传感器能够适应一些领域三维加速度测试的需要,并已开展了广泛的研究.本文综合国内外研......
介绍了一种增大质量块设计的三轴MEMS加速度计。该加速度计基于绝缘体上硅(SOI)硅片,采用双面光刻、干法刻蚀的工艺,利用了部分SOI......
微机械系统(MEMS)工艺使新的概念迅速转换为实际样机和早期产品.这种转换的速度基于集成电路、产业制造基础的拉动能力:工厂、设备......
亚洲是全球微电子产品增长较快的地区.MEMS是业内人士公认的21世纪的新的技术增长点,而封装技术在微电子与MEMS制造中发挥着越来越......
根据机械学科的发展趋势,结合对发达国家机械传动及其相关学科研究现状的分析,提出了机械传动学科重点研究领域的建议,认为"微传动......
21世纪，人们生活在一个不断渴求信息的时代，渴望能及时获得更多、更详细的信息，传感器的出现使人类不仅能够更容易获得日常生活中的各......
介绍了用于地球观测、空间科学和技术演示的下一代超小型纳米卫星以及微电子技术和ＭＥＭＳ技术在纳米卫星中的应用。......
测量了淀积在三种不同的牺牲层材料(热氧SiO2、LPCVD SiO2、LPCVD PSG)上LPCVD氦化硅薄膜的应力,结果表明,不同牺牲层上淀积的氮化......
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研究了典型微机械应力测试结构的温度特性及从源头上抑制热应力的方法。设计了一种可以代表微机械系统（MEMS）器件温度特性的应力测试......
提出了一种新型的抗高过载环形振动式陀螺,分析了其工作原理和振动特性。在ANSYS有限元分析软件中建立了该环形陀螺结构的模型,进......
微机械系统(MEMS)通常是由微型传感器、微型执行器、信息单元和通讯/接口单元等组成的。微执行器作为可动部分,其动作范围的大小、......
近年来,用于生物,制药等领域的微量试剂自动化分配技术不断发展,往往需要进行微量快速的液体流量检测。本文设计了一种基于压差原......
随着市场不断地向小型化、微型化方向发展,微机械系统在市场中的地位也是日益明显。微机械系统相对于传统系统体积微小,且抗外界干......
当今传感器的明显发展趋势是从传统的传感器设计和应用转向以微机械加工技术为基础的微传感器和智能化传感器的设计和应用，使智能结......
微电子机械系统(MEMS)技术在未来的发展有着重要的意义,文章介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微电动机为例,详细比......
对金属电极的腐蚀特性进行了研究。实验中设计了多种不同的金属电极,通过改变电极材料、电极厚度、电极层数、腐蚀液成分及温度等......
微机电系统(MEMS)中微结构的尺寸通常在毫微米量级甚至更小,当材料特征长度在微纳米量级时,材料具有很强的尺度效应,造成其性能与......
针对MEMS（micro-electro-mechanical system）和NEMS（nano-electro-mechanical system）对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄......
嵌入式航姿参考系统(AHRS)采用微惯性敏感器件包括三轴陀螺仪,三轴加速度计和三轴磁强计的组合作为微惯性测量单元(MIMU),利用嵌入......
本论文研究的是一种基于微电子机械系统(MEMS)的载体辅助定位技术。作为一种重要的自主定位检测手段,自定位技术被广泛的应用于自......
