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PECVD工艺多是采用进口无油机械泵组获得生产工艺要求的真空工艺条件,根据真空泵组的基本原理与结构,分析了影响真空泵组使用寿命的主要原因。依据多年维修经验,编写了真空泵组自主维护工作流程与维护方法。维修后真空泵组可以稳定运行接近10000h。
荏原AAS100WN真空泵自主维护
【摘 要】
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PECVD工艺多是采用进口无油机械泵组获得生产工艺要求的真空工艺条件,根据真空泵组的基本原理与结构,分析了影响真空泵组使用寿命的主要原因。依据多年维修经验,编写了真空泵
【机 构】
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中国空空导弹研究院
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2018年06期
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