【摘 要】
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为了提高半导体实验室中的小尺寸硅片工艺操作效率,提出一种气压驱动方式的特殊硅片传输机械手,并以PLC为核心的控制系统设计方案。经试验证明:采用该型硅片传输机械手后,小
【机 构】
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西安工业大学北方信息工程学院光电信息系,西安黄河机电有限公司设计研究所,
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为了提高半导体实验室中的小尺寸硅片工艺操作效率,提出一种气压驱动方式的特殊硅片传输机械手,并以PLC为核心的控制系统设计方案。经试验证明:采用该型硅片传输机械手后,小尺寸硅片实验操作效率得到提高,且在实验过程中避免了二次污染。
In order to improve the operating efficiency of the small-size silicon process in the semiconductor laboratory, a special silicon transfer robot driven by air pressure is proposed, and the control system design with PLC as the core is proposed. The experiment proves that after using this type of wafer transfer robot, the experimental operation efficiency of the small-size silicon wafer is improved, and the secondary pollution is avoided during the experiment.
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