【摘 要】
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1.前言 可称为溅射离子泵(以下简称离子泵)的前驱Gurewitsch和 Westendorp(1)在 “给编 辑一封信中”命名的。Ionic Pump”是在1954年发表的,距离现在已经23年了。也许因
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1.前言 可称为溅射离子泵(以下简称离子泵)的前驱Gurewitsch和 Westendorp(1)在 “给编 辑一封信中”命名的。Ionic Pump”是在1954年发表的,距离现在已经23年了。也许因 为当时使用了单个的环形阳极,只能获得5 × 10-7乇(6.7 × 10-5帕)。从潘宁规的工作范围 来看,当时认为
1. Introduction Gurewitsch and Westendorp (1), precursors to the sputter ion pump (hereinafter referred to as ion pumps), are named in a letter to the editor. Ionic Pump "was released in 1954 and is now 23 years from now. Perhaps because of the single ring anode used at that time, only 5x10-7 Torr (6.7x10-5 Pa) was obtained. From Penning’s working range At that time, I thought
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