【摘 要】
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计量型紫外光学显微镜是一套采用248 nm深紫外光线以及100倍紫外物镜的可溯源光学设备,其光学分辨率可以达到100 nm.如此高分辨率导致深紫外显微镜景深只有μm量级,轻微的扰
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计量型紫外光学显微镜是一套采用248 nm深紫外光线以及100倍紫外物镜的可溯源光学设备,其光学分辨率可以达到100 nm.如此高分辨率导致深紫外显微镜景深只有μm量级,轻微的扰动将会导致严重的离焦现象,因此在计量型紫外光学显微镜对掩模板进行测量过程中需要实时自动聚焦,避免离焦影响测量精度.计量型紫外光学显微镜的自动聚焦系统通过紫外相机、紫外物镜、nm级物镜执行器获取一系列光学切片图像,然后通过设置关键区域作为对焦窗口,同时采用基于coif小波变换的图像清晰度评价函数找到最佳聚焦位置,最终采用VC与Matlab混合编程实现紫外光学测量时的自动聚焦.经过实验验证该套自动聚焦系统最终对焦精度可达0.5 μm.
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