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电子衍射实验表明，当单体酞菁硅二醇Ｓｉ（Ｐｃ）（ＯＨ）２在ＮａＣｌ单晶（１００）解理面上气相沉积时，所得的聚酞菁硅氧烷［Ｓｉ（Ｐｃ）Ｏ］ｎ薄膜晶体中的分子链轴相对于膜面的取向，随衬底温度的升高而发生有规律的变化：不确定（１５０℃）→平行→平等＋垂直→垂直（３５０℃）。高分辨电子显微像显示，与其在固态聚合时的情形不同，气相沉积时所得的［Ｓｉ（Ｐｃ）Ｏ］ｎ微晶主要属于四方晶系，只有少量属于带心的正交晶系。上述平行或垂直，四方或带心正交的结晶行为与衬底超晶格的诱导结晶有关