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高分子湿度电容传感器是唯一可以实现从0％～100％RH全程监测气体相对湿度的传感器。研究了使用高分子湿度电容在线测量SF6气体湿度的方法,提出了基于径向基函数(RBF)神经网络的湿度电容传感器的温度补偿和曲线拟合的方法,并提出了一种实现在线监测的电路。实验结果证明,此种方法可以实现对任意温度下测量的湿度进行有效补偿,为实现在线监测提供了理论基础。