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介绍VO2薄膜的结构、性质并采用射频磁控溅射法分别在玻璃、熔融石英以及蓝宝石衬底上沉积了高品质的VO2薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）分析了VO2薄膜的微结构,探索了非理想配比对VO2薄膜的喇曼光谱的影响,讨论了非理想配比导致VO2薄膜喇曼光谱变化的原因。
VO2薄膜的制备及其喇曼光谱研究
【摘 要】
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介绍VO2薄膜的结构、性质并采用射频磁控溅射法分别在玻璃、熔融石英以及蓝宝石衬底上沉积了高品质的VO2薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）分析了VO2薄膜的微结构,探索了非理想配比对V
【机 构】
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长春理工大学理学院
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2009年1期
【基金项目】
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国家电力公司东北公司长春超高压局资助项目（JG0713）
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