本文采用射频磁控溅射的方法在多种衬底上沉积了高品质的VO_2薄膜;分析了VO_2薄膜的相变机理以及影响其相变过程的因素;利用X射线......

介绍VO2薄膜的结构、性质并采用射频磁控溅射法分别在玻璃、熔融石英以及蓝宝石衬底上沉积了高品质的VO2薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）......

2.3.1 λ-MnO2λ-MnO2是典型的尖晶石结构,具有Fd3m空间对称群.氧呈立方密堆积,与锰形成[MnO6]八面体.在[Mn2]O4的表示式中,氧离子......

采用射频（RF）磁控溅射在各种条件下制备的VO2薄膜的喇曼光谱曲线。研究发现，和理想配比VO2薄膜的主要喇曼峰相比较，无论是富钒的VO2薄......