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采用两种不同结合剂硬度的金刚石刀片切割同一种BGA基板,通过对刀片刃口形貌的变化以及切割断面的分析,探讨了唇缘效应产生的原因。结果表明,在金刚石浓度、粒度及切割工艺等条件相同的情况下,刀片结合剂硬度是造成唇缘效应的最主要因素,并提出了避免唇缘效应产生的改进措施。
BGA基板切割过程中唇缘效应的产生及改进措施
【摘 要】
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采用两种不同结合剂硬度的金刚石刀片切割同一种BGA基板,通过对刀片刃口形貌的变化以及切割断面的分析,探讨了唇缘效应产生的原因。结果表明,在金刚石浓度、粒度及切割工艺等
【机 构】
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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安点石超硬材料发展有限公司
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2007年05期
【基金项目】
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陕西省工业攻关项目(2005K06-G8)
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