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<正> 国内所用的四探针测试仪目前尚无统一的检定方法,因此在使用时,对仪器本身及误差大小不甚了解,这就对如何校验这类仪器提出了新的问题。国内虽然也制定了硅单晶片电阻率直流四探针的测试方法,但都是针对校验硅单晶样片的标准装置,操作比较麻烦。
用硅单晶电阻率标准样片校验四探针测试仪
【摘 要】
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<正> 国内所用的四探针测试仪目前尚无统一的检定方法,因此在使用时,对仪器本身及误差大小不甚了解,这就对如何校验这类仪器提出了新的问题。国内虽然也制定了硅单晶片电阻率
【机 构】
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中国计量科学研究院集成电路室,
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1985年10期
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