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为了解决激光干涉仪使用时激光光路准直调整比较费时的问题,在对激光干涉仪位置测量原理和测量误差进行分析的基础上,通过反复比较验证,提出了一种基于镜组准直的快速对光方法。实践表明,该方法简单实用,能够有效指导操作人员高效准确地完成对光,具有较强的指导作用。
基于镜组准直的激光干涉仪快速对光方法研究
【摘 要】
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为了解决激光干涉仪使用时激光光路准直调整比较费时的问题,在对激光干涉仪位置测量原理和测量误差进行分析的基础上,通过反复比较验证,提出了一种基于镜组准直的快速对光方法。实践表明,该方法简单实用,能够有效指导操作人员高效准确地完成对光,具有较强的指导作用。
【机 构】
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山东职业学院叶佩青专家工作室,清华大学机械工程系
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2019年06期
【基金项目】
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山东省高等学校科研发展计划项目(J17KB036),山东省职业教育技艺技能传承创新平台(智能制造技艺技能传承创新平台)资助项目.
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