功率VDMOSFET结终端技术研究

来源 :辽宁大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:xnlpktg
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提出了一种多重场限环(FLR)终端结构的优化设计方法。这一方法给出了一种简单模拟结构用以绘制所谓的击穿电压-间距曲线,由这一曲线可以直接得到最优化结构,而不必进行试验也不易发生错误.由此种方法得到的结果与实验结果附合得非常好.我们在较大范围内对这一方法的适用性进行了研究,结果表明这一方法在中等电压范围FIR终端设计中非常有效。
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