【摘 要】
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为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上.对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心,保利哈尔滨科技股份公司
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为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上.对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究,并将其集成在耐高温压力传感器上,对制备的压力-温度多功能传感器进行了测试.结果表明传感器可在室温至200℃温度范围工作并达到较高精度,可以推广使用.
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