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基于压电薄膜的压电效应，研究压电薄膜微机电加速度传感器．对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析，得到传感器方程，并进行数值计算．结果表明，随着压电薄膜厚度的增大，灵敏度随之增大，在一定厚度下达到最大值，随着厚度的进一步增大，灵敏度反而减小．然后进行动力分析，得到噪音、质量因子、最小可测信号等技术参数，并进行了数值计算．运用ANSYS软件进行谐响应分析，得到不同频率下结构的动力响应曲线．