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真空镀膜法制备的薄膜质量好,生产率高,适应的范围广,已经成为光学薄膜制备的最重要的方法了,其中使用最普遍的两种方法是热蒸发沉积和溅射沉积[1],常用制膜设备包括真空镀膜设备、分光光度计和石英晶体振荡膜厚监控仪。
常用的光学薄膜制备实验设备
【摘 要】
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真空镀膜法制备的薄膜质量好,生产率高,适应的范围广,已经成为光学薄膜制备的最重要的方法了,其中使用最普遍的两种方法是热蒸发沉积和溅射沉积[1],常用制膜设备包括真空镀膜
【机 构】
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新疆机械研究院股份有限公司
【出 处】
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科技与企业
【发表日期】
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2014年13期
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