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本文推导了多层介质光膜系的二阶膜相对误差因子表达式，以λ０／４高反射多层介质膜系为例对一阶和二阶误差因子进行了数值分析，比较了两者在不同波长区域对膜系光谱性能的影响，发现不应仅考虑一阶误差因子，而应同时考虑一阶和二阶误差因子的作用，才能较好地描述膜厚误差对膜系光谱性能的影响。
多层介质光学膜系的二阶膜厚误差因子分析
【摘 要】
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本文推导了多层介质光膜系的二阶膜相对误差因子表达式，以λ０／４高反射多层介质膜系为例对一阶和二阶误差因子进行了数值分析，比较了两者在不同波长区域对膜系光谱性能的影响，发现不
【机 构】
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同济大学波耳固体物理研究所
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1998年1期
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