【摘 要】
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用X射线光电子能谱(XPS)研究了工艺参数(注入电压或能量、注入时间或剂量、磁控靶溅射电流)对铝合金LY12(即2024)等离子体基离子注入氮+离子注入钛形成的改性层成分分布影响.
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用X射线光电子能谱(XPS)研究了工艺参数(注入电压或能量、注入时间或剂量、磁控靶溅射电流)对铝合金LY12(即2024)等离子体基离子注入氮+离子注入钛形成的改性层成分分布影响. 结果表明,氮在注入层呈高斯分布,而钛沿注入方向逐渐减少. 钛的注入使已注入的氮的分布有所拓宽. 随着注入电压和时间的增加,钛的注入深度及含量有所增加;存在一个注入时间或 / 和磁控靶溅射电流阈值,在低于该值下注入钛主要表现为注入效应,没有钛沉积层出现,在高于该值下注入钛由注入效应逐渐表现为沉积效应,有明显的钛层出现.
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