Si_3N_4对导电BN蒸发舟性能影响

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本文通过对BN-TiB2基导电蒸发舟中添加一定量的Si3N4,研究了Si3N4,对导电蒸发舟电性能,耐腐蚀性能的影响。研究表明,添加适量Bi3N4能够在保持电性能良好的基础上,大大提高导电蒸发舟的耐腐蚀性,从而延长了其使用寿命 。
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