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Si_3N_4对导电BN蒸发舟性能影响
Si_3N_4对导电BN蒸发舟性能影响
来源 :山东陶瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户:s307403419
【摘 要】
:
本文通过对BN-TiB2基导电蒸发舟中添加一定量的Si3N4,研究了Si3N4,对导电蒸发舟电性能,耐腐蚀性能的影响。研究表明,添加适量Bi3N4能够在保持电性能良好的基础上,大大提高导电蒸发舟的耐腐蚀性,从而延长了
【作 者】
:
陈淑权
孙百忠
【机 构】
:
山东省硅酸盐研究设计院,山东淄博特种陶瓷厂
【出 处】
:
山东陶瓷
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
蒸发舟
腐蚀
氮化硅
氮化硼
包装
真空镀钻纸膜
Si3N4BNEvaporatingboatCorrosion
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本文通过对BN-TiB2基导电蒸发舟中添加一定量的Si3N4,研究了Si3N4,对导电蒸发舟电性能,耐腐蚀性能的影响。研究表明,添加适量Bi3N4能够在保持电性能良好的基础上,大大提高导电蒸发舟的耐腐蚀性,从而延长了其使用寿命 。
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