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本文讨论微波固体源作为测量电量、非电量有源传感器的工作原理。指出频带反射高Q腔稳耿氏振荡器适于作为有源传感器,用它取样测量电容介质(ε_τ(?)2～3)薄膜的厚度,量程:200μm,分辨率≤±0.1μm,介质微扰稳频腔产生的振荡器频偏⊿f与其厚度d具有很好的线性关系。频偏的实验值与微扰方法计算值吻合良好。