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高压功率LDMOS的场极板击穿电压分析
高压功率LDMOS的场极板击穿电压分析
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caoyouwen
【摘 要】
:
提高LDMOS的一个关键步骤是加场极板以降低其表面击穿电压.文中分析了加场极板后的LDMOS击穿电压模式,指出了场极板的分压作用和场极板边界的影响,得到了其击穿电压的计算公
【作 者】
:
柯导明
陈军宁
时龙兴
孙伟锋
吴秀龙
柯宜京
【机 构】
:
安徽大学电子工程系,东南大学ASIC工程技术中心
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管
场极板
击穿电压
LDMOS
field plate
bre akdown voltage
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提高LDMOS的一个关键步骤是加场极板以降低其表面击穿电压.文中分析了加场极板后的LDMOS击穿电压模式,指出了场极板的分压作用和场极板边界的影响,得到了其击穿电压的计算公式并用实验验证了公式的正确性.
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