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采用静态有限差分法[1],求解了电光探测时探头内部的电场分布;发现了电光信号随布线的变化,设计了一系列不同布线的电极;采用ITO导电膜进行电光信号幅度校准并减少串扰.理论分析与实验结果符合得很好.最后,分析了ITO导电膜对CMOS反相器高频特性的影响.
邻近导体布局对电光测量的影响
【摘 要】
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采用静态有限差分法[1],求解了电光探测时探头内部的电场分布;发现了电光信号随布线的变化,设计了一系列不同布线的电极;采用ITO导电膜进行电光信号幅度校准并减少串扰.理论
【机 构】
：
吉林大学
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2004年4期
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